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BMT700研究型硅片显微镜

发布时间:2016-04-21浏览:2278次

一、用途:
    BMT700研究型硅片显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有无限物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中*的检测仪器之一.

二、BMT700研究型硅片显微镜技术参数:
1、目镜

类  别

放大倍数

视场(mm)

大视野目镜

10X

φ22

2、物镜

类 型

放大倍数

数值孔径NA

工作距离(mm) 

无限远长工作距离平场消色差物镜

5X

0.12

26.1

10X

0.25

20.2

40X

0.60

3.98

60X

0.70

3.18

3、光学放大倍数:50X -- 600X  系统参考放大倍数:50X-3500X
4、滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5、偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6、载物台:二层机械移动式:尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7、粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8、落射照明器:卤素灯,亮度可调;透射光源6V30W卤素灯,加装散热片。
9、防霉:特有的防霉系统

三、BMT700研究型硅片显微镜适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有无限物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器。

四、总放大参考倍数:

  50--4000倍 (17寸显示器为例)

五、系统组成:

1、显微镜

2、适配镜

3、500万高像素摄像头

4、计算机(选配)

六、选购件:

1、二维测量软件

2、目镜: 20X 10X(带刻度)

 

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