品牌 | 厦门地坤 | 产地类别 | 国产 |
---|---|---|---|
应用领域 | 综合 |
ZT-60-15立式化学气相沉积炉
ZT-145-15立式化学气相沉积炉
ZT-220-15立式化学气相沉积炉
ZT-270-15立式化学气相沉积炉
ZT-550-15立式化学气相沉积炉
一、设备用途:
化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。
二、设备特点:
1、立式结构,炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。
2、双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。
3、控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。
4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。
5、配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。
ZT-60-15立式化学气相沉积炉三、主要技术参数:
No.型号工作区尺寸(ØXH)mm高温度 (℃)真空度 (Pa)压升率
(Pa/h)温度均匀性(℃)功率(KW)
1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060
2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145
3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220
4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275
5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550
注:炉膛尺寸可按您的要求定做
HZT-100-15卧式化学气相沉积炉
HZT-145-15卧式化学气相沉积炉
HZT-145-15卧式化学气相沉积炉
HZT-360-15卧式化学气相沉积炉
一、设备用途:
化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。
二、设备特点:
1、卧式结构,双炉门结构,炉门启闭采用气动方式。
2、双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。
3、控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。
4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。
5、配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。
三、主要技术参数:
No. | 型号 | 工作区尺 (WXHXL)mm | 高温度 (℃) | 真空度 (Pa) | 压升率 (Pa/h) | 温度均匀性 (℃) | 功率 (KW) |
1 | HZT-100-15 | 400X400X600 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 100 |
2 | HZT-145-15 | 500X500X750 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 145 |
3 | HZT-145-15 | 600X600X900 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 190 |
4 | HZT-360-15 | 700X700X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 360 |
上一篇:ZM-70-15顶装料真空钼丝炉
下一篇:ZT-160-15立式真空裂解炉
扫一扫 微信咨询
©2024 厦门地坤科技有限公司 版权所有 备案号:闽ICP备16010437号-1 技术支持:化工仪器网 Sitemap.xml 总访问量:421400 管理登陆