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ZT-60-15立式化学气相沉积炉

简要描述:ZT-60-15立式化学气相沉积炉双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-10-29
  • 访  问  量:305
详细介绍
品牌自营品牌产地类别国产
应用领域综合

ZT-60-15立式化学气相沉积炉

ZT-145-15立式化学气相沉积炉

ZT-220-15立式化学气相沉积炉

ZT-270-15立式化学气相沉积炉

ZT-550-15立式化学气相沉积炉

一、设备用途:

化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。

二、设备特点:

1、立式结构,炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。

2、双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

3、控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。

4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

5、配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

ZT-60-15立式化学气相沉积炉三、主要技术参数:

No.型号工作区尺寸(ØXH)mm高温度  (℃)真空度   (Pa)压升率

 (Pa/h)温度均匀性(℃)功率(KW)

1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060

2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145

3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220

4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275

5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550

注:炉膛尺寸可按您的要求定做

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HZT-100-15卧式化学气相沉积炉

HZT-145-15卧式化学气相沉积炉

HZT-145-15卧式化学气相沉积炉

HZT-360-15卧式化学气相沉积炉

一、设备用途:

化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。

二、设备特点:

1、卧式结构,双炉门结构,炉门启闭采用气动方式。

2、双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

3、控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。

4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

5、配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

三、主要技术参数:

No.

型号

工作区尺

(WXHXL)mm

高温度 

(℃)

真空度 

(Pa)

压升率 

(Pa/h)

温度均匀性

 (℃)

功率

 (KW) 

1

HZT-100-15

400X400X600

1500

1-100

0.67

±20

100

2

HZT-145-15

500X500X750

1500

1-100

0.67

±20

145

3

HZT-145-15

600X600X900

1500

1-100

0.67

±20

190

4

HZT-360-15

700X700X2000

1500

1-100

0.67

±20

360


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